为满足行业对技术要求和相关规范不断发展的需要，真空烧结炉工艺在精确度及效率上有了很大成长空间。真空烧结炉是一种新型工艺设备，主要用于半导体元件和功率整流器件的烧结工艺，它可以进行真空烧结、气体保护烧结和常规烧结。但是，在日常使用时，它的应急措施我们一定的了解！ 加热电源掉电
1、水压低，当水压低于0.15MPa，压力表报警。
2、接地故障。
3、真空放电，水冷电极接头与加热器连接处必须连接牢固，与反射屏绝缘要好。
4、若炉内压力为13.3-66.5Pa时（此真空度容易发生放电）。电源出现故障，掉电的原因可以认为由于电介质击穿而引起的放电。
充气气体（氩气或氮气）停止
1、抽真空开始前，气体充入时间长或者无法充入时，请确认气体管路是否被堵塞。
2、如气体管路没问题，检查电磁阀及气体充气阀的动作，为了安全与其相关联的设备要全部停止后再进行检查。
3、向真空室内充气不能停止的情况下，泄压阀动作如泄压阀动作时，要关闭气体供给阀及配管在内的所有气体系统。
4、确认气体充气配管是否有漏气的地方，如有会影响制品质量。
真空室压力恶化
1、真空排气时间比通常长时，应把设备停下来进行检查，根据真空室内构造物不同状态下放气的影响，也有导致压力升高的情况。
2、通过压力上升测试或者用氦气检漏来确认是漏气还有放气的影响。
http://www.sagerfurnace.net/
|
写文章
